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蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量過程,是由測(cè)頭通過三個(gè)坐標(biāo)軸導(dǎo)軌在三個(gè)空間方向自由移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的，在測(cè)量范圍內(nèi)可到達(dá)任意一個(gè)測(cè)點(diǎn)。三個(gè)軸的測(cè)量系統(tǒng)可以測(cè)出測(cè)點(diǎn)在X，Y，Z三個(gè)方向上的精確坐標(biāo)位置。
根據(jù)被測(cè)幾何型面上若干個(gè)測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值即可計(jì)算出待測(cè)的幾何尺寸和形位誤差。另外，在測(cè)量工作臺(tái)上，還可以配置繞Z軸旋轉(zhuǎn)的分度轉(zhuǎn)臺(tái)和繞X軸旋轉(zhuǎn)的帶頂尖座的分度頭，以方便螺紋、齒輪、凸輪等的測(cè)量